仪器详细信息：
1. 主要规格及技术指标：
XYZ马达扫描台具备线性解码器扫描分辨率≤10nm，马达扫描轴最大动态扫描范围不小于X=100mm, Y=75mm, Z=50mm；Z轴压电驱动系统具备分辨率≤1.5纳米;
2. 主要功能及特色：
电化学扫描探针显微镜是一种用于化学、材料科学领域的分析仪器。
位置：
常用链接
